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半導(dǎo)體工藝氣體檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)品宣傳冊(cè)
發(fā)布時(shí)間:2024/12/13      點(diǎn)擊次數(shù):611

半導(dǎo)體工藝氣體檢測(cè)系統(tǒng),GK6030-BDT型號(hào)是一種可移動(dòng)、可獨(dú)立的采樣系統(tǒng),采用分析柜式結(jié)構(gòu),結(jié)合用戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際工況,采用樣氣抽取分析式流程設(shè)計(jì)。主要由三部份組成,氫燃料電池檢測(cè)模組,進(jìn)口檢測(cè)模組,出口檢測(cè)模組,全程高溫伴熱191攝氏度方式。采用西門(mén)子PLC控制,組態(tài)界面操作,具備自動(dòng)進(jìn)樣,連續(xù)運(yùn)行、間歇運(yùn)行、控制聯(lián)鎖諸功能。加上配置了智能化分析儀表,具有自動(dòng)化程度高,數(shù)據(jù)處理快速準(zhǔn)確。測(cè)量精度高,響應(yīng)時(shí)間快,其測(cè)量后的氣體濃度信號(hào)可在計(jì)算機(jī)組態(tài)界面監(jiān)控。主要用于半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評(píng)價(jià),半導(dǎo)體工藝廢氣、氫燃料電池燃燒氣、煙氣和發(fā)動(dòng)機(jī)尾氣等成分的定性分析和定量研究,也可用于半導(dǎo)體工藝廢氣處理設(shè)備分解移除效率的評(píng)價(jià)和研究。

應(yīng)用實(shí)例

•半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評(píng)價(jià)測(cè)量

•與安全相關(guān)領(lǐng)域的測(cè)量

•作為法定煙氣排放量參考變量的測(cè)量

•氫燃料電池燃燒氣成分定性分析

•燃燒廠中煙氣排放量的定性分析

•半導(dǎo)體工藝廢氣氣濃度的定量研究


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